产品信息
| 品名 | 特殊气氛专用发热体 |
| 品牌 | YTTORCH |
| 产地 | 中国 |
| 型号 | VOS-56-003 半导体专用型 |
| 建议温度等级型号 | MR1800型 TC1800 型 TC1700型 |
| 形状 | 定制 |
| 尺寸 | 定制 |
| 特点 | 1.精密加工制成，具有很高的发热功率，能为电炉提供均匀的热场； 2.可根据顾客使用要求，制作出相应形状。使用中维持一定的性能不变，使用寿命长； 3.比起金属丝，可承受较高的表面负荷和急速升温制度(速冷，快速升温); 4.从小型到大型的晶圆，各式各样的尺寸，都可应对，可多种应用。 5.高温使用可确保相应设备的清洁性。 |
| 应用范围 | 半导体晶圆用电炉 ；圆筒形电炉； |
| 产品类型 | 密度-g/cm3 |
室温弯曲强度-MPa |
硬度-GPa | 压缩强度-MPa | 吸水率-% | 热伸长率-% |
| TC1700 | 5.8±0.1 | 450 | 11 | >1500 | ≤0.2% | 4 |
| TC1800 | 6.0±0.1 | 500 | 12 | >1500 | ≤0.2% | 4 |
| MR1800 | 5.9±0.1 | 430 | 11.5 | >1500 | ≤0.2% | 4 |
| 气 氛 A t m o s p h e r e | 1 7 0 0 型 | 1 8 0 0 型 |
| 空 气 Air | 1700 | 1800 |
| N₂ Nitrogen | 1600 | 1700 |
| He Ar Ne Argon,Helium | 1600 | 1700 |
| 干H₂ (露点)-80℃ Dry Hydrogen(dew point) | 1150 | 1150 |
| 湿H₂ (露点)20℃ wet Hydrogen(dew point) | 1450 | 1450 |
| 混合气体(e.g.10%CO2,5%C0,15%H₂) | 1600 | 1700 |
| 混合气体(e.g.40%H₂,20%CO) | 1400 | 1450 |
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裂解和部分燃烧的氨(8%H₂)Cracked and partially burnt ammonia |
1400 | 1450 |
烟台火炬特种高温陶瓷有限公司
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